当初一说要买这台设备 公司股价涨了20%!如今这台设备真的来了

时间:2021-11-29        

  )XT 1900 Gi型光刻机一台,并于当日运抵苏州,搬入公司高端光刻胶研发实验室。

  长吴天舒在现场讲话中介绍,为解决集成电路制造领域关键材料“卡脖子”问题,加速高端ArF光刻胶研发,建立研发平台,公司后续还将购置其他相关辅助设备,并尽早完成设备的安装调试,投入使用。晶瑞股份购置这台光刻机花了多少钱?晶瑞股份于2020年9月29日披露,为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目,公司拟斥资1102.5万

  )光刻机。对此,有业内人士告诉记者,一台光刻机就花了1000多万美元,还要购置涂布显影机、同福心水www001888com缺陷检验设备、膜厚检测机台等一系列相关辅助设备,还要建设洁净室……ArF光刻胶研发要大几亿元的投入。“在中国集成电路

  ,目前适用于6英寸硅片的g线英寸硅片的KrF光刻胶的自给率不足5%,而用于12寸硅片的ArF光刻胶基本依靠

  ,光刻胶国产化依然任重道远。据介绍,随着芯片跨入纳米级,半导体光刻胶的波长也在不断缩短,已经由紫外宽谱逐步发展到g线nm)、i线nm)、ArF Immersion 浸润式,以及最先进的EUV(13.5nm)线水平。光刻胶波长越短,研发难度越大,适应制程越先进。目前从全球来看,KrF和ArF的市场份额最大。

  工艺相关技术参数及产品定型,并实现规模化生产。”展望未来,吴天舒告诉记者,实现ArF光刻胶产业化,中国的光刻胶就基本上可以满足45nm至28nm制程技术和工艺的要求。在晶瑞股份于2020年9月29日披露购置光刻机后,公司股价早盘高开后强势拉升至涨停,收盘涨幅达19.99%。(文章来源:上海